事実
チェックバルブ、ベローズ、ダイアフラムなどの可動部品の機械的接触による摩擦は摩耗につながります。摩耗によりパーティクルが放出し、ウェーハの欠陥が発生する可能性があります。
試験条件
複数の試験条件で、4社の異なるメーカーの10台のポンプにおいて、超純水中のパーティクル放出について評価しました。テスト条件は、グループ内のすべてのポンプを通常の動作条件下で比較できるように選択しました。
結果
Levitronix®ポンプは、すべてのポンプ動作条件において、最もパーティクルの放出が少ないポンプでした。全ての試験において、Levitronix®ポンプの下流で測定されたパーティクル量は、試験ポンプなしで測定された量に近似しました。
5 gpmおよび40 psigで大型ポンプシステムの下流で測定された粒子サイズ分布
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