事実
Levitronix®ポンプと比較して、エア駆動ポンプはチェックバルブおよび他のコンポーネントが原因で強いせん断応力を引き起こす可能性があります。強いせん断応力は、スラリーの凝集を引き起こす可能性があります。凝集したスラリー粒子は、CMP工程でウェーハの欠陥となるマイクロスクラッチを引き起こす可能性があります。
試験条件
Levitronix® BPS-4、ダイアフラムポンプ、ベローズポンプを用いてCabot® WIN W7300-A18スラリーの状態比較評価を行いました。11Lのスラリーを30lpm/2.1barで循環させ、サンプルを採取しました。各サンプルのパーティクル分布を測定し、初期に対するパーティクルの増加を比較しました。
結果
Levitronix®ポンプでは粒子のサイズに関係なく、パーティクル分布に非常に小さな変化が観察されました。ベローズポンプとダイアフラムポンプでは、特に大きなパーティクルの濃度に大幅な増加が観察されました。
選択したサイズのチャネルの初期濃度に対する粒子濃度
選択したサイズのチャネルの初期濃度に対する粒子濃度
選択したサイズのチャネルの初期濃度に対する粒子濃度
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