事実
ポンプによって引き起こされる圧力と流れの脈動は、液体の不連続な排出により水圧ショックを起こします。水圧ショックによりフィルタからのパーティクルを放出させる可能性があり、ウェーハの欠陥につながります。
試験条件
構造上、脈動を誘起するダイヤフラム、ベローズポンプとLevitronix ®ポンプで、フィルタ効率とパーティクル保持について、3種のフィルタを使用し比較しました。保持効率は、各フィルタの125 nmのパーティクルサイズでの対数減少値 (LRV) として表します。
結果
プレッシャー (圧力) の脈動は、使用するフィルタに関係なく、フィルタの保持に悪影響を及ぼします。Levitronix®ポンプは、最も安定したフローを提供し、試験した各流量で最高の保持値を示しました。
圧力脈動の関数としての保持効率
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