Levitronix®BPS-iF30流量コントローラは、マイクロエレクトロニクスのウェットプロセスで繊細な流体の超清浄処理用に設計されています。磁気浮上技術に基づいて、ファンインペラはモータの磁場によって浮上し、駆動します。広いギャップにより可動部品間の機械的接触が存在せず、摩耗がないことを保証します。摩耗、消耗するベアリングやシールは存在しません。
インペラとケーシングは、いずれも耐薬品性高純度フッ素樹脂から作られています。流体流量と圧力は、インペラ速度を電子的に調節することによって正確に制御されます。
業界実績より証明 – 半導体製造 (およびそれ以降) で
最も超高純度ポンプ！
インペラとポンプヘッドケーシングの間に機械的な接触が
ないため、摩耗がなく、パーティクルの発生も理論上、
事実上ありません。
エアー駆動式ポンプよりも大幅に低い
Levitronix®ポンプの液体に触れる表面積は、同等パワーの
エアー駆動式ポンプよりも圧倒的に小さいです。
非常に高い信頼性
摩耗するベアリングやシールがなく、装置の稼働時間、
プロセス機器の寿命を延ばし、メンテナンスコストを
削減します。
フィルターパフォーマンスの向上
オープンポンプヘッド設計、高流量分解能、遠心ポンプの
原理、バルブの不在などは、脈動のない流量を実現し、
フィルターパフォーマンスを向上させます。
エアー駆動ポンプよりもかなり小さい
機械的なベアリングの欠如と、ポンプとモータを高度に
組み合わせ統合した設計は、フットプリントを
大幅に削減し、限られたスペースでの
設置を可能にします。
スラリーと繊細なめっき液に最適
機械的なベアリング、狭いギャップ、裂け目、
デッドゾーンなどの不在、および滑らかな接液部表面は、
繊細な液体に低いストレスでの処理を可能にします。
流量スロットルが不要 – 非常に正確な流量圧力
Levitronixポンプは、可変速度と高分解能により、
広い動作範囲で流量または圧力を正確に制御できます。
数mlpmから最大流量まで
Levitronix®ポンプシステムは、わずか数mlpmから
最大流量までのスムーズな流れを正確に制御および維持し、
競合ポンプまたはバルブベースの流量コントローラの中で
最高のターンダウンレシオを与えます。
さらにコンパクト化
流量制御に外部接続コントローラが不要な為、
組込費用が安いです。
25年以上の経験
Levitronix®ポンプは、バイオ医薬品製造など、他の非常に
要求の厳しい産業でもしっかりと技術確立され、
実績と経験を積んでいます
スマートマニュファクチャリングのための
スマートポンプシステム
BPS-iFシステムは、予測メンテナンスと工場全体のシステム
統合に最適な、高性能データ取得を可能にします。
バイオプロセシング 
マイクロエレクトロニクス 
ポンプ 
流量コントローラ 
流量計 
ミキサー 
ファン 
昇圧ユニット 
プロセスコントローラユニット 
Technical Brochure 
