バイオプロセシング 
マイクロエレクトロニクス 
ポンプ 
流量コントローラ 
流量計 
ミキサー 
ファン 
昇圧ユニット 
プロセスコントローラユニット 
BFS-i04
最大流量
260 m3/h
最大圧力
870 Pa
Levitronix®ベアリングレスファンシステムBFSは、マイクロエレクトロニクス製造における要求の厳しいアプリケーション用に設計されています。磁気浮上技術に基づいて、ファンインペラはモータの磁場によって浮上し、駆動します。インペラとステータの間の広いギャップにより摩耗がないため、パーティクルの発生がないことを保証した、最も清浄なファンになります。インペラとステータは完全に封入されるため、揮発性の高い媒体に対して非常に強い耐性があり、爆発性雰囲気での使用に適しています。
BFS: 紹介ビデオ
マイクロエレクトロニクス製造の中で最も清浄なファン
インペラとファンヘッドケーシングの間に機械的な接触が
ないため、摩耗がなく、したがって理論的、
実質的にパーティクルが発生しません。
揮発性ガスに対するロバスト
インペラおよびステータが完全に封入されることで、
ファンは揮発性媒体に対して非常に抵抗力があります。
ATEX/IECEx認定
BFSはATEX/IECEx認定を受けており、ガス用の
ATEXゾーン1エリア内、およびダスト空間用の
ATEXゾーン21内への設置が可能です。
2400 m3/hまで
ベアリングレスインペラの原理によって高い回転及び
高い風量を達成することを可能としています。
パーティクルの減少
機械的なベアリングが存在しないため、ファン故障の
リスクが大幅に低減されます。
大幅に削減されたフットプリントとケーブル接続の労力
モータとファンコントローラは、ドライバハウジングに
統合され、フットプリントを大幅に削減しました。
数m3/hから最大風量まで
BFSは正確な制御をもって、数m3/h から最大風量まで
フローを制御し、非常に高い風量を流すことができます。
機器の稼働時間の増加
摩耗するベアリングやシールがなく、装置の稼働時間、
プロセス機器の寿命を延ばし、
メンテナンスコストを削減します。
フィードバックループを作成
風量センサまたは圧力センサをシステムに統合することで、
希望するプロセス条件を自動的に維持できる
フィードバックループを作成可能です。
高出力密度
BFSの高出力密度により、省フットプリントが可能に
なります。また、磁気ベアリングはノイズ発生を
最小限に抑え、低振動を可能とします。
Product Brochure: BFS-i04 
Case Study Video: Chamber Cross Talking 
