Facts
과산화수소(H2O2)와 같은 유체의 가스 방출은 잠재적으로 펌프 성능에 영향을 줄 수 있습니다.
Test Conditions
탈기성 유체를 이용하여 Levitronix® BPS-4 펌프의 성능을 평가하였습니다. 펌프의 유량-압력 곡선은 유사한 케미컬 이송 공정을 시뮬레이션하기 위하여 30%의 H2O2가 포함된 DIW을 사용한 테스트를 통하여 작성되었습니다.
Results
DIW와 비교하여 30%의 H2O2가 포함된 유체를 펌핑하는 동안 펌프의 토출량에 큰 차이는 없었습니다.
BPS-4 차압 vs 유량 곡선 (35° C, 30% H2O2)
반도체 프로세싱 
바이오 프로세싱 
펌프 
유량 컨트롤러 
유량 센서 
믹서 
팬 
압력 부스터 
공정 제어 기기 
