BPS-i30 반도체 Wet 공정을 위한 고청정 펌프 시스템

업계 경험으로 입증-반도체 제조에서 (반도체 외의 다른 산업에서도) 가장 깨끗한 펌프!
임펠러와 펌프 헤드 케이싱 사이에 기계적인 마찰이 없어 마모를 발생시키지 않으므로, 사실상 파티클을 생성하지 않습니다.

파티클 생성이 없음

공압 펌프에 비하여 현저히 낮음
Levitronix^® 펌프의 접액부는 동일 조건 하에서 기타 공압 구동 방식의 펌프에 비하여 현저히 작습니다.

극 미량의 금속 오염

매우 높은 신뢰성
마모 및 파손이 일어날 수 있는 베어링과 씰이 없어 장비 가동시간이 크게 증가합니다. 이로 인하여 공정 장비의 수명을 연장시키고 유지 보수 비용을 절감할 수 있습니다.

최대 MTBF (100년 이상)

고객의 공정을 위한 정확하고, 안정적이며, 신뢰할 수 있는 유량 및 압력 제공
개방형 펌프 헤드 설계, 넓은 유량 범위, 원심 펌프 고유의 특징 및 밸브를 사용하지 않는 구조로 맥동이 전혀 없는 유량을 제공합니다.

맥동 없는 유량

기존 공압 펌프에 비해 현저히 작은 디자인
획기적인 펌프와 모터의 통합 기술 및 베어링리스 디자인을 통하여, 제한된 공간에 설치가 가능하도록 펌프 사이즈에 대한 요구 사항을 크게 개선하였습니다.

작은 설치 공간

슬러리 및 다양한 도금액 취급에 이상적
부드러운 플라스틱 표면과 더불어 기계적 베어링, 좁은 틈 및 데드존이 없는 디자인을 통해 도금 공정을 위한 민감한 액체의 원활한 공급을 제공합니다.

Low Shear 설계

더 이상 유체의 이상 압력 변화가 없습니다 – 매우 정확한 유량 및 압력
다양한 속도 제어와 높은 정밀도로 Levitronix^® 펌프는 광범위한 작동 범위에서 정밀한 유량 및 압력의 제어를 제공합니다.

높은 제어성 & 넓은 유량 범위

넓은 유량 범위 – 초 저유량에서 최대 유량까지
Levitronix^® 펌프의 다양한 속도 컨트롤 및 높은 정밀도로, 수 ml/min부터 최대 유량까지 제어 및 유지가 가능합니다.

가장 높은 턴 다운 비율

센서 피드백 컨트롤
유량 또는 압력 센서를 펌프 시스템과 연동하여, 원하는 공정 조건을 자동으로 유지할 수 있도록 피드백 루프를 사용해 보세요.

통합 유량 컨트롤러

25년 이상의 경험으로,
Levitronix^® 펌프는 반도체 제조 또는 바이오 의약품 생산과 같이 매우 다채롭고 까다로운 산업에 확고히 자리하고 있습니다.

오래된 역사와 경험

스마트 제조를 위한 스마트 펌프
Levitronix^® 펌프는 고성능 공정 데이터 수집이 가능하여, 예방 유지 보수 및 공장 전체 시스템에 통합적으로 사용될 수 있습니다.

지속적인 데이터 취합 및 모니터링

공압 펌프에 비하여 현저히 작은 소음
임펠러와 펌프 케이싱의 기계적인 마찰이 없어 펌프는 사실상 진동을 발생시키지 않아 매우 조용한 펌프 시스템의 동작 조건을 제공합니다.

저 소음 & 저 진동