事实
与 Levitronix® 泵相比，气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致slurry聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕，进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。
测试条件
评估了两台Levitronix® 泵、一台隔膜泵和一台波纹管泵，以评估它们对Cabot®EP-6618泥浆的健康的影响。固定容积的slurry在26 lpm和2bar 持续循环，样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布，并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较.
结果
无论颗粒大小如何， Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵，观察到显著增加，特别是在大颗粒浓度方面。
颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性
颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性
颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性
生物工艺 
微电子 
泵 
流量控制器 
流量传感器 
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风扇 
增压系统 
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