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微电子

随着微电子技术的日益小型化和复杂化,微电子湿制程应用的工艺要求也越来越严苛。为了涵盖不同的工艺领域(如半导体制造、光伏、或LED),需要用到大量的不同介质。对关键工艺介质进行超纯、安全、可靠的传输至关重要。

Levitronix® 20多年来一直是微电子行业的关键参与者,我们提供超洁净的泵系统、混合器和流量传感器,使全球芯片制造商能够加工最小的晶圆结构。

工艺流程 概述

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应用

微电子

批量化学材料输送
CMP 浆料输送
湿制程清洗
电镀

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微电子泵

超洁净无轴承泵

微电子泵(溶剂应用)

防静电无轴承泵系统

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微电子泵(第一代)

超洁净无轴承泵系统

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微电子流量控制器

超洁净无轴承流量控制器

微电子线上式流量传感器

PFA超声波线上式流量传感器

微电子夹管式流量传感器

PFA导管专用非侵入式超声波流量传感器

微电子泵-槽式混合器

同时实现混合与泵送

增压系统

完整的增压和控制

微电子风扇

耐化学腐蚀无轴承风扇