BPS-1 微电子湿制程应用 超洁净系统

半导体制造（及其他领域）中最纯净的泵！
由于叶轮和泵头外壳之间没有机械耦合，因此没有磨损，因此几乎不会产生颗粒。

极低的颗粒脱落

显着低于气动泵
Levitronix^® 泵的液体接触表面面积要比同等输出功率的气动泵小好几倍。

极低的微量金属污染

极高的可靠性
由于不会发生轴承磨损或密封件故障，设备正常运行时间增加，您的工艺设备的寿命得以延长，降低维护成本。

最高 MTBF（>100 年）

为您的过程提供准确、稳定和可靠的流量和压力
开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵原理和无阀门导致完全无无脉冲流量。

无脉冲流量

显着小于气动泵的安装空间
泵和电机采用高集成设计，加上没有机械轴承，大大减少了安装空间，可被安装在有限的空间内。

安装空间小

非常适用于研磨液和精密电镀液
无机械轴承、窄缝、裂纹和死区，加上光滑湿润的塑性材料表面因此可以对敏感液体进行温和的输送或制程处理。

低剪切力设计

无需节流阀—高精度的流量和压力
由于其可调的速率和高分辨率，Levitronix^®泵可以在广泛的运行范围内精确控制流量或压力。

高可控性及宽广流量范围

宽广流量范围—从超低流量到最大流量
Levitronix^®泵的高速和分辨率允许控制和维持从每分钟几毫升到最大流速的流速。

极高的调节比

支持创建反馈回路
将流量或压力传感器集成到泵系统中来创建一个反馈回路，使之能够自动保持您设定的工艺条件。

集成流量控制器

超过25年行业经验
Levitronix^® 泵在半导体制造以外的高要求行业（如生物制药生产）被广泛地认可。

历史悠久

用于智能制造的智能泵
Levitronix^® 泵支持高性能的数据采集，是进行预防性维护和在全工厂范围内进行系统集成的理想选择。

持续稳定的数据采集和数据监控

噪音大大低于气动泵
由于叶轮和泵壳没有机械耦合，泵几乎不产生振动，从而使泵系统运行非常安静。

低噪音、低振动